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플라즈마는 반도체, 디스플레이, MEM 등의 정보통신(IT) 분야 등을 비롯하여 나노(NT) 분야, 환경(ET)분야 등에 이르기까지 다양한 분야로 응용이 확대되고 있으며앞으로 기술이 고도화됨에 따라 그 활용성과 시장성이 크게 성장할 것으로 기대되는 분야입니다.
이렇듯 플라즈마의 상업적 이용가치는 무궁무진하지만, 아직까지 한정된 분야에서만 사용되어지고 있으며 이에 10년이상 세계의 기술을 함께 해 온 플라즈마 전문가들이 이제까지 쌓아 온 노하우를 바탕으로 미래에는 세계 플라즈마 시장을 선도할 기업으로 도약하고자 합니다.
(주)플라즈마트는 2000년 4월에 KAIST에서 창업하였고, 2002년도 5월에 중소기업청에서 기술혁신개발 과제로 선정 하였습니다.7월 벤쳐기업 등급평가에서 우수기어브로 선정 되었고, INNO-BIZ(기술혁신기업) 선정(중소기업청) 대전시 유망중소기업으로 선정되었습니다. 2003년 3월, 대기압 플라즈마 표면처리 시스템을 개발했고, 2004년 3월 플라즈마 계측기는 KT Mark 인증을 획득하였습니다.
1. 플라즈마 계측기 (랑뮤어 프로브 시스텝)
랑뮤어 프로브 방식의 SLP2000과 DLP2000은 in-situ 측정을 통하여 플라즈마 밀도, 전자 밀도, 전자 온도 등의 핵심적인 플라즈마 변수를 정량적으로 측정합니다. 자동화된 Linear Scanner를 이용하여 플라즈마의 공간적인 특성 분포를 측정하며 Microsoft Windows 기반의 유저 소프트웨어를 이용하면 측정과 분석이 매우 편리해집니다.
2. 유도결합 플라즈마 발생장치
독창적인 이중층 구조의 유도결합 플라즈마 발생장치는 축전 전기장의 세기와 불균일성을 혁신적으로 줄여 공간적으로 균일한 고밀도 저압 플라즈마를 발생시킵니다. 반도체 웨이퍼 및 LCD glass 공정의 etcher, asher, PECVD 장비 등에 적합하며 6 ? 12 인치 circular 형과 400 mm square 형까지 다양한 종류를 선택할 수 있습니다.
3. 대기압 플라즈마 표면처리 시스템
진공이 아닌 대기 상태에서 발생되는 대기압 플라즈마를 이용한 표면처리 장비는 플라즈마 처리의 장점과 대기 상태에서 처리한다는 편리성을 동시에 제공합니다. 금속, 폴리머, 유리, 웨이퍼 등 다양한 소재 표면의 유기물 제거 뿐 아니라 친수성, 젖음성, 염색성, 접착성 등을 향상시켜 공정 신뢰도 향상과 원가절감에 탁월한 효과가 있습니다.
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 회원 가입일 |
2004/09/07 (년/월/일) |
| 역할 구분 |
판매상 |
| 사업형태 |
제조업체 |
| 설립년도 |
2000 |
| 총 종업원수 |
6 - 10 |
| 연간매출 |
USD 2,000,001 - 5,000,000 |
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| [ 연락처 정보 ] |
| 회사명 |
(주)플라즈마트 |
| 주소 |
대전 유성구 구성동 373-1 한국과학기술원 동문 창업관 4113호
(우:305-701) 한국 |
| 전화번호 |
042 - 863 - 2546 |
| 팩스번호 |
042 - 863 - 2547 |
| 홈페이지 |
www.plasmart.com |
| 담당자 |
배명호 / 기술영업 주임 |
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